概述
ppm级和百分比级（%）SF6（六氟化硫）红外气体分析仪采用高精度非分光红外（NDIR）技术。ppm级分析仪广泛应用于高压变电站开关室及电缆沟，用于环境泄漏的早期检测与人员安全监测；而百分比级（%）分析仪则专用于测量气体绝缘开关设备（GIS）气室内的SF6绝缘纯度、诊断内部电弧分解情况、监控生产过程中的化学纯度，以及管理半导体等离子体刻蚀工艺中的气体配比。
原理
多种多原子气体（如 CO、CO2、CH4 等）对红外光的吸收并非覆盖整个波段，而仅限于特定波段，这些波段被称为特征吸收带。不同气体具有不同的红外吸收波长。红外光度分析仪正是基于某些气体在不同波长下对红外辐射的选择性吸收特性而工作的。当红外光穿过混合气体时，待测气体组分会吸收红外辐射能量；根据朗伯-比尔（Lambert-Beer）吸收定律，可通过光强度的变化来测定气体的浓度。
应用
• 高压变电站环境安全 [ppm 级]
GIS 室泄漏监测：针对高压及特高压（HV/UHV）室内 GIS 开关室进行分布式多点环境监测，以便及早发现法兰垫片或阀门密封处微量的 SF6 泄漏。
氧气置换与氧气安全：防止人员在进入密闭区域或电缆夹层时发生窒息风险；大量 SF6 泄漏时会下沉并置换可呼吸氧气，监测系统可保障作业人员安全。
无组织排放温室气体控制：追踪微量泄漏以最大限度减少 SF6 排放，从而满足全球严格的温室气体法规合规要求及减排目标。
• 电网资产管理与 GIS 维护 [百分比 % 级]
SF6 绝缘气体纯度验证：对高压断路器和变压器内部的气体纯度（通常要求 >97% 至 99%）进行现场或连续测量，以确保最佳的介电强度和灭弧性能。
气体分解产物诊断：监测纯 SF6 浓度趋势及分解副产物（如 SO2 或 HF），以分析设备内部隔室电弧放电的严重程度并确定维护周期。
补气钢瓶验证：在电气设备抽真空和重新充气循环期间，对 SF6 回收与再生设备进行质量控制。
• 半导体与平板显示器制造 [百分比 % 级]
等离子体刻蚀工艺控制：精确监测作为氟源的 SF6 进气浓度及混合气稳定性，该气体用于深硅等离子体刻蚀工艺（例如 MEMS 和 TSV 制造中的 Bosch 工艺）。
CVD 腔体清洁验证：分析排气总管以确认设备腔体已彻底清洁，或追踪化学气相沉积（CVD）设备内部的 SF6 利用率。
• 工业零部件泄漏测试 [ppm 级]
示踪气体检漏：利用 SF6 独特的 NDIR（非色散红外）光谱特征和化学惰性，将其作为工业检漏站（如高端灭火器、豪华汽车合金轮毂或防水电子产品外壳的生产线）的有效示踪气体。
测量范围
• SF6：0 ~ 50 ppm 至 100%(Vol)
详细介绍请参见红外分析仪。