Übersicht
Der Ozon-Gasanalysator für den Spurenbereich (ppm/ppb-Niveau) ist für die kontinuierliche, quantitative Überwachung von Ozonspuren konzipiert. Er findet breite Anwendung bei der Ozon-Desinfektion von kommunalem Trinkwasser und industriellem Abwasser, in der Halbleiterfertigung (Reinraumprozesse und Wafer-Reinigung), bei der Sterilisation in der Pharma- und Lebensmittelproduktion sowie in Systemen zur Ozon-Restgasvernichtung. Durch die präzise Messung der Ozonkonzentration in Prozessgasen, Umgebungsluft und Abgasströmen optimiert das Gerät die Effizienz der Ozon-Dosierung, überwacht die Katalysatorleistung in Restgasvernichtern zur Vermeidung von Leckagen und gewährleistet die Einhaltung von Arbeitsschutzvorschriften.
Messprinzip
Die UV-LED-Strahlung wird durch einen Strahlteiler in einen Mess- und einen Referenzstrahlengang aufgeteilt. Der Referenzstrahl gelangt direkt zum Detektor, der ihn in einen Referenzspannungswert umwandelt. Mithilfe dieses Referenzsignals lässt sich der Alterungseffekt der UV-LED nahezu vollständig kompensieren. Der Messstrahl tritt in die Messküvette ein, wobei die Strahlung vom darin befindlichen Gas absorbiert wird. Das Absorptionsverhalten wird vom Messdetektor erfasst und zur Berechnung der Gaskonzentration in der Messküvette herangezogen.
Anwendungen
• Ozon-Abgasbehandlung & Umweltschutz
Überwachung von Ozon-Abgasvernichtern: Messung der Ozon-Restkonzentration am Auslass katalytischer Ozonvernichter, um sicherzustellen, dass das Abgas strenge Umweltauflagen für die Emission erfüllt (typischerweise unter 0,1 ppm).
Leckageerkennung & Überwachung der Umgebungsluft: Hochempfindliche Überwachung in Ozonerzeugerräumen und angrenzenden Arbeitsbereichen zum Schutz des Personals und zur Einhaltung der OSHA/NIOSH-Grenzwerte für die Exposition am Arbeitsplatz.
• Wasseraufbereitung & Desinfektionsprozesse
Kommunale Trinkwasserversorgung: Kontinuierliche Überwachung der Ozonkonzentration in der Gasphase oberhalb von Kontaktkammern zur Optimierung des Ozon-Stofftransports und der Dosiereffizienz.
Industrie- & Reinstwasser: Überwachung der Ozonkonzentration in Kreislaufsystemen für pharmazeutisches USP-Wasser, Flaschenwasser sowie bei der Desinfektion von Reinstwasser (UPW) für die Halbleiterfertigung.
• Halbleiter- & Elektronikfertigung
Wafer-Reinigung & Nassprozessanlagen: Hochpräzise Überwachung von Ozongas, das zur Herstellung von ozonisiertem deionisiertem Wasser (DIO₃) für das Entfernen von Fotolack (Stripping) und die Reinigung von Wafer-Oberflächen verwendet wird.
Atomic Layer Deposition (ALD) & CVD: Überwachung hochreiner Ozonströme, die als oxidierende Ausgangsstoffe (Precursor) bei der Abscheidung von Oxidschichten und in entsprechenden Anlagen eingesetzt werden.
• Reinräume in Pharma, Biotechnologie & Lebensmittelindustrie
Validierung der Raumsterilisation: Messung hoher Ozonkonzentrationen (im ppm-Bereich) während der Begasungszyklen im Reinraum sowie anschließende Überwachung des Ozonabbaus, um festzustellen, wann der Raum für Mitarbeiter wieder sicher betretbar ist.
Konservierung in Kühlhäusern: Überwachung niedriger Ozonkonzentrationen (im ppm-Bereich) in Kühlhäusern zur Bekämpfung von Schimmel und Krankheitserregern auf frischen Lebensmitteln, ohne die Produkte zu beschädigen.
Messkomponenten und Messbereiche
• O3: 0 ~ 1 ppm bis 2.000 ppm
Weitere Informationen finden Sie im UV-Spektralanalysator.