Übersicht
Der Wärmeleitfähigkeitsanalysator für Krypton (Kr) im Prozentbereich nutzt die hochstabile Technologie der Wärmeleitfähigkeitsdetektion (WLD/TCD). Er findet breite Anwendung in der Edelgasgewinnung bei der Luftzerlegung (ASU), der Gasbefüllung von Isolierglaseinheiten (IGU), der Gasmischung für Excimer-Laser in der Halbleiterindustrie sowie in der Fertigung moderner Beleuchtungssysteme. Durch die präzise Online-Messung von Kr-Konzentrationen in binären oder quasi-binären Gemischen (wie Kr/Ar, Kr/Luft oder Kr/Xe) überwacht das Gerät den Sättigungsgrad der Befüllung bei energieeffizienten Fenstern, kontrolliert die Reinigungseffizienz in Destillationskolonnen und gewährleistet exakte Mischverhältnisse für anspruchsvolle industrielle Prozesse.
Prinzip
Wenn das Probengas in die Wärmeleitfähigkeitszelle eintritt, sorgt ein Thermistor oberhalb der Membran für eine konstante Temperatur. Dadurch bildet sich ober- und unterhalb der Membran ein kleiner Hohlraum, in den das Messgas diffundieren kann. Der durch die Wärmeleitfähigkeit des Probengases verursachte Wärmeverlust wird durch Erwärmung kompensiert. Die zur Aufrechterhaltung der Membrantemperatur benötigte Leistung entspricht der Wärmeleitfähigkeit des Messgases.
Anwendungen
• Herstellung von Isolierglaseinheiten (IGU) und energieeffizienten Fenstern
Überprüfung der Gasfüllung: Echtzeitmessung der Kr-Konzentration (typischerweise 90 % bis 95 % Kr, Rest Luft oder Argon) während des automatisierten Gasfüllprozesses bei Zwei- oder Dreifach-Isolierglasfenstern.
Qualitätskontrolle der Wärmedämmung: Zerstörungsfreie Prüfung oder Online-Stichproben zur Überprüfung, ob die gefüllten Fenstereinheiten die erforderliche Krypton-Konzentration beibehalten, um die geplante Wärmedämmleistung (niedriger U-Wert) zu erreichen.
• Luftzerlegungsanlagen (ASU) und Edelgasreinigung (Kr/Xe-Gewinnung)
Überwachung der Krypton-Xenon-Kolonne: Kontinuierliche Analyse der Kr-Konzentration während der Gewinnung und Destillation von Roh-Kr/Xe-Gemischen aus Flüssigsauerstoff-Kreisläufen in kryogenen Luftzerlegungsanlagen.
Edelgas-Feinreinigung: Überwachung der Endreinigungsstufen, in denen Krypton von Xenon getrennt wird, um die Produktreinheit vor der Abfüllung und dem Vertrieb zu verifizieren.
• Halbleiterlithografie und Excimer-Lasergase
Mischen von Excimer-Lasergasen (KrF-Laser): Präzise Qualitätskontrolle und Überwachung des Mischungsverhältnisses von Lasergasgemischen – bestehend aus Krypton (Kr) im Prozentbereich sowie Neon (Ne), Fluor (F₂) und Argon (Ar) – für den Einsatz in Scannern für die DUV-Fotolithografie (Deep Ultraviolet).
Recycling der Atmosphäre in Laserkammern: Überwachung und Verifizierung der Kr-Konzentration in speziellen Gasrückgewinnungssystemen für kostspielige Laserquellenkammern.
• Moderne Beleuchtungstechnik und Herstellung von Speziallampen
Befüllung von Glüh- und Halogenlampen: Messung der Konzentration von Kr-Gasgemischen in Energiespar-Glühlampen, Halogenscheinwerfern und Grubenlampen; hierbei verlangsamt die hohe Atommasse des Kryptons die Verdampfung des Wolframfadens und verlängert so die Lebensdauer der Lampe.
Herstellung von Leuchtstoff- und Glimmröhren: Kontrolle des präzisen Fülldrucks und Mischungsverhältnisses von Kr/Ar- oder Kr/Ne-Gemischen in Leuchtröhren (Neonreklame) und energieeffizienten Leuchtstofflampen.
Messkomponenten und Messbereiche
• Kr: 0 ~ 10 bis zu 100 Vol.-%
Weitere Informationen finden Sie im Wärmeleitfähigkeitsgasanalysator.