紫外光度法基于200nm至400nm光谱范围内的辐射吸收。在这一领域，一些重要的工业气体具有明显的吸收带。这种气体分析的优点是测量不受蒸汽和二氧化碳的干扰。此外，这些吸收带显示出高吸收行为，因此也可以可靠地检测到非常低的气体浓度（<< ppm）。在紫外光谱仪中，选用紫外发光二极管，其发射波长在光谱上对应于相应的吸收带。这意味着不需要其他的光谱仪或滤光片。这种类型的紫外线测光法称为非分散紫外线法，也称为NDUV。
紫外线光谱分析仪可测量ppm或％体积的气体含量，还可以实现ppb的高精度测量。 使用2个UV-LED时，可以同时测量2种气体成分。 可以应用于氮氧化物（NO + NO2），硫化氢（H2S），臭氧（O3），二氧化硫（SO2）和氯气（Cl2）的测量。
详细介绍请参见紫外分析仪。