概述
这款痕量（ppm/ppb级）臭氧（O3）气体分析仪专为臭氧的连续定量监测而设计，广泛应用于市政饮用水及工业废水的臭氧消毒、半导体超净工艺与晶圆清洗、医药及食品车间的杀菌消毒，以及臭氧尾气处理系统。该设备能精确测量工艺气体、环境空气及废气流中的臭氧浓度，从而优化臭氧投加效率，监测尾气处理装置中催化剂的性能以防止泄漏，并确保符合职业健康与安全标准。
原理
UV-LED 辐射光束经分光镜分为测量光路和参考光路。参考光束直接到达检测器，并转换为参考电压值。利用该参考信号，几乎可以完全补偿 UV-LED 的老化效应。测量光束进入样品池，池内气体吸收辐射能量。测量检测器记录吸收情况，并据此计算测量池中的气体浓度。
应用
• 臭氧尾气破坏与环境安全
尾气分解器监测：测量臭氧催化分解器出口处的残余臭氧，以确保废气符合严格的环境排放标准（通常小于0.1 ppm）。
泄漏检测和环境空气安全：对臭氧发生器室和周围工作区域进行高灵敏度监测，以保护人员并符合 OSHA/NIOSH 职业暴露限制。
• 水处理和消毒过程
市政饮用水：连续监测接触室上方的气相臭氧浓度，以优化臭氧传质和投加效率。
工业和超纯水：监测用于制药 USP 水、瓶装水和半导体超纯水 (UPW) 消毒的回路系统中的臭氧水平。
• 半导体和先进电子制造
晶圆清洗和湿工作台：高精度跟踪用于制备臭氧去离子水 (DIO_3) 的臭氧气体，用于光刻胶剥离和晶圆表面清洗。
原子层沉积 (ALD) 和 CVD：监测在氧化物层生长和沉积工具中用作氧化前体的高纯度臭氧流。
• 制药、生物技术和食品洁净室
空间灭菌验证：在洁净室熏蒸周期中测量高浓度 ppm 级臭氧，然后监测臭氧衰减过程，以验证工作人员何时可以安全地重新进入环境。
冷库保鲜：对冷库进行低浓度ppm级臭氧监测，控制生鲜农产品上的霉菌和病原体，同时不损坏产品。
测量组分及量程
• O3: 0 ~ 1ppm 至 2,000ppm
详细介绍请参见紫外分析仪。