概述
这款用于测量百分比（%）浓度水平氘（D2）的导热分析仪，采用了高稳定性的热导检测（TCD）技术。它广泛应用于核能与重水堆工艺控制、半导体氘退火安全、同位素气体混合以及实验室研究等领域。该仪器能够对二元或准二元混合气体（如 D2/N2 或 D2/Ar）中的 D2 含量进行精确的在线测量，实时监测气体纯度和混合比例，是同位素加工、工艺控制及先进微电子制造领域不可或缺的关键设备。
原理
当样气进入热导池时，薄膜上方的一个热敏电阻用于维持恒定温度。这样，薄膜的上下方各形成一个小腔体，待测气体可扩散进入其中。通过加热来补偿因样气热传导而引起的热损失，维持薄膜恒温所需的功率即反映了待测气体的热导率。
应用
• 半导体与光电子制造
氘退火工艺控制：持续监测高压氘退火炉（通常与氮气或氩气混合）中百分比浓度的氘气（D2），以钝化硅晶圆表面的悬挂键，从而显著提高晶体管的可靠性和器件使用寿命。
氘气回收与再利用系统：在晶圆制造厂的废气回收回路中实时测量纯度，以便安全、经济地回收高价值的氘气。
• 核能、聚变研发及重水设施
聚变燃料循环诊断：监测氚-氘燃料回路、聚变实验堆（如托卡马克装置）及等离子体诊断系统中的氘气（D2）及其同位素混合物的浓度。
重水反应堆监测：跟踪重水生产及净化工艺废气中的氢/氘同位素比率。
• 同位素气体混合与质量控制
保护气与特种气体混合：对工业实验室及光纤制造中使用的二元混合气体（如 D2/N2、D2/Ar 或 D2/He）进行高精度在线验证。
气瓶充装验证：在特种氘气气瓶的混合、加压及包装过程中进行最终质量保证。
• 药物合成与氘代药物生产
氘代反应监测：在氘代原料药（API）合成过程中，对加压催化反应器内的氘气纯度和化学计量比进行在线测量。
• 科学研究与气相色谱（GC-TCD）
同位素分离研究：针对氢同位素分离的实验室规模低温精馏、热扩散或变压吸附（PSA）研究，对 D2 浓度进行高精度跟踪监测。
测量组分及量程
• 氘：0 ~ 10%，最高可达 100% (Vol)
详细介绍请参见热导式分析仪。