
概述
这款百分比级(%)氪(Kr)导热分析仪采用高稳定性的热导检测(TCD)技术,广泛应用于空分装置(ASU)中的稀有气体提取、中空玻璃(IGU)充气、半导体准分子激光气体配比以及高端照明制造等领域。它能对二元或准二元混合气体(如 Kr/Ar、Kr/Air 或 Kr/Xe)中的氪浓度进行精确的在线测量,从而监测节能窗的充气饱和度、追踪精馏塔的提纯效率,并确保高端工业生产过程中的精确混合比例。
原理
当样气进入热导池时,薄膜上方的一个热敏电阻用于维持恒定温度。这样,薄膜的上下方各形成一个小腔体,待测气体可扩散进入其中。通过加热来补偿因样气热传导而引起的热损失,维持薄膜恒温所需的功率即反映了待测气体的热导率。
应用
• 中空玻璃(IGU)与节能窗制造
充气验证:在双层或三层中空玻璃窗的自动充气过程中,实时测量氪(Kr)浓度(通常目标为 90% 至 95% 的氪,其余为空气或氩气)。
隔热性能质量控制:通过无损检测或在线抽样,验证充气后的窗户单元是否保持了所需的氪浓度,以达到设计的隔热性能(低 U 值)。
• 空分装置(ASU)与稀有气体提纯(氪/氙提取)
氪-氙精馏塔监测:在深冷空分装置的液氧循环回路中提取粗氪/氙混合物及进行精馏的过程中,连续分析氪浓度。
惰性气体精制:监测将氪与氙分离的最终提纯阶段,在充装和分销前验证产品纯度。
• 半导体光刻与准分子激光气体
准分子激光气体配比(KrF 激光器):针对深紫外(DUV)光刻机使用的激光混合气体(包含百分比含量的氪与氖、氟、氩的混合物)进行精确的质量控制和配比监测。
激光腔体气氛回收:在专为昂贵的激光源腔体设计的专用气体回收系统中,监测并验证氪浓度。
• 先进照明与特种灯具生产
白炽灯与卤素灯充气:测量用于节能白炽灯泡、卤素车前灯和矿灯内部的氪混合气体的浓度;利用氪的高原子质量来抑制钨丝蒸发,从而延长灯泡寿命。
荧光灯与辉光管制造:控制霓虹灯管及节能荧光灯中氪/氩或氪/氖混合气体的精确充气压力与混合比例。
测量范围
• Kr: 0 ~ 10% 至 100%(Vol)
详细介绍请参见热导式分析仪。