概述
这款用于测量百分比（%）浓度氦气（He）的热导分析仪采用了高稳定性的热导检测（TCD）技术。它广泛应用于光纤拉丝冷却、半导体制造、超导磁体氦气回收、深海呼吸气配制以及低温气体分离等领域。该仪器能够对二元或准二元混合气体（如 He/N2、He/Ar 或 He/O2）中的氦气浓度进行精确的在线测量，从而控制气体配比并监测回收纯度，防止这种稀缺且昂贵的惰性气体发生损耗。
原理
当样气进入热导池时，薄膜上方的一个热敏电阻用于维持恒定温度。这样，薄膜的上下方各形成一个小腔体，待测气体可扩散进入其中。通过加热来补偿因样气热传导而引起的热损失，维持薄膜恒温所需的功率即反映了待测气体的热导率。
应用
• 光纤拉丝与半导体制造
光纤拉丝冷却通道：在光纤拉丝过程中，持续监测冷却气氛中的氦气比例；利用氦气优异的导热性能，确保包层均匀、快速冷却，从而防止结构缺陷。
晶圆背面冷却与屏蔽：实时监测晶圆静电吸盘及工艺设备腔体内的氦气混合比例，以在刻蚀和化学气相沉积（CVD）工序中实现关键温度控制。
• 氦气回收与低温回收系统
超导磁体气化氦气回收：在回收的气态氦气（来自MRI设备、核磁共振波谱仪及科学同步加速器）进入纯化和再液化流程之前，对其纯度进行在线监测。
空分装置（ASU）稀有气体提取：监测低温空分厂氦氖分离及精馏塔中的氦气浓度，以优化回收产率。
• 工业保护气配制与泄漏检测
高端焊接气氛控制：验证用于自动化机器人焊接（如铝材及不锈钢的激光焊或熔化极气体保护焊/GMAW）的定制氦/氩（He/Ar）保护混合气，确保电弧稳定性与焊接质量。
工业部件泄漏测试：监测用于腔体泄漏测试站（针对汽车零部件、锂电池电芯及暖通空调压缩机）的氦气载气纯度，以维持测试校准精度并检测背景污染。
• 深海潜水与高压呼吸气体
氦氧（Heliox）及氦氮氧（Trimix）混合气配制：对用于商业海上潜水、技术潜水及高压氧舱的呼吸混合气（如He/O₂和He/N₂/O₂）中的氦气浓度进行高精度在线验证，以保障潜水员健康。
潜水钟内环境监测：实时监测回流呼吸气体回路，评估二氧化碳吸收装置的效率及气体补充需求。
测量范围
• He: 0 ~ 10% 至 100%(Vol)
详细介绍请参见热导式分析仪。