概述
这款百分比级（%）氖（Ne）热导分析仪采用高稳定性的热导检测（TCD）技术，广泛应用于空分装置（ASU）中的稀有气体提取、半导体准分子激光气体配比（如 Ne/F2 和 Ne/Ar）、高端氖气及气体放电照明制造以及低温工程领域。该仪器能够对二元或准二元混合气体（如 Ne/He、Ne/N2 或 Ne/Ar）中的氖浓度进行精确的在线测量，从而优化激光气源配比并监控精馏过程，是半导体光刻、特种气体配制及稀有气体回收工艺中的关键检测设备。
原理
当样气进入热导池时，薄膜上方的一个热敏电阻用于维持恒定温度。这样，薄膜的上下方各形成一个小腔体，待测气体可扩散进入其中。通过加热来补偿因样气热传导而引起的热损失，维持薄膜恒温所需的功率即反映了待测气体的热导率。
应用
• 半导体光刻与准分子激光气体混合
准分子激光缓冲气体监测（ArF/KrF 激光器）：连续监测氖气（Ne）浓度。氖气是用于深紫外（DUV）光刻的准分子气体混合物（如 Ar/F₂/Ne 或 Kr/F₂/Ne）中的主要载气/缓冲气（通常占混合物成分的 95% 以上）。
激光腔体循环回路：测量连接至光刻设备的闭环回收与纯化装置中的氖气纯度，从而最大限度减少昂贵氖气的浪费。
• 空分装置（ASU）与粗氖/氦提纯
氦氖分离塔监测：在深冷空分装置从液氧中提取粗氖/氦浓缩物的过程中，监测精馏塔内的氖气含量。
同位素与高纯氖最终提纯：在压缩装瓶及气瓶充装前，对商用纯化氖气（例如 4.5 至 5.0 级纯度）进行在线纯度验证。
• 先进照明与气体放电管
特种灯具与霓虹灯充气：对用于霓虹广告牌、冷阴极灯、高压指示灯泡及航空信标灯的 Ne/Ar 或 Ne/He 混合气体进行连续质量控制。
等离子显示面板（PDP）制造：监测用于特种工业及军用级等离子屏幕的氖-氙混合气体的精确配比。
• 低温技术与高能物理研究
液氖低温冷却系统：在线监测用于超导磁体和航空航天传感器的氦氖制冷回路中的氖气纯度，以防止杂质冻结并堵塞毛细管。
粒子物理探测器气体监测：监测科研实验室中用于漂移室和气体正比计数器的氖基混合气体的特定气体密度及组分比例。
测量组分及量程
• 氖气：0 ~ 10%，最高可达 100% (Vol)
详细介绍请参见热导式分析仪。